2022年9月28日から30日にかけてPhoenix, Arizonaで開催されるUltraPure Micro 2022 Conferenceにおいて、当社の技術者が以下の発表を行います。
＜発表概要＞
・29th September 10:00-12:00 PST <Session: Yield and Reliability>
"Interconnect Metal Recess Using Functional Water Solutions for Next-Generation Semiconductor Device Manufacturing"
Nobuko GAN, KURITA WATER INDUSTRIES LTD.
・29th September 15:30-17:00 PST <Session: Yield and Reliability>
"Study on How Ultrapure Water Could Contribute to Particle Types Identified on Wafer, and How Ion Exchange Resin Selection Could Make a Difference"
Yoichi TANAKA, KURITA WATER INDUSTRIES LTD., and Jas Wai Yeng Cheong, Intel
UltraPure Micro Conferenceでは、半導体業界における超純水の水質（メタル、TOC、微粒子等）、超純水製造システムおよび超純水供給システムの最適化、環境負荷低減、高純度薬品、高純度ガス、排水回収システム等に関する最新のトレンド情報が発信されています。 今回開催されるUltraPure Micro 2022ではEnvironmental Footprint、Facilities Growth、Yield and Reliabilityのセッション毎に各種討論が行われます。
詳細についてはこちらをご参照ください。
URL：https://ultrapuremicroevents.com/